681.78.01 Ч 56 Розділ: Не секційована / No section Зберігається в: Загальний фонд бібліотеки / General store
Чехович Е.К.
Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники.
Минск : Наука и техника 1989