537.52 А 41 Розділ: Не секційована / No section Зберігається в: Загальний фонд бібліотеки / General store
Аксенов И.И., Андреев А.А., Белоус В.А.
Вакуумная дуга. Источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование
К. : Наукова думка 2012