539.2 М 74 Розділ: Не секційована / No section Зберігається в: Загальний фонд бібліотеки / General store
Под ред. Л.Н. Александров и др.
Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло.
Новосибирск: Наука 1991