535.24 Г55 Розділ: Не секційована / No section Зберігається в: Загальний фонд бібліотеки / General store
Глудкин О.П., Густов А.Е.
Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС.
М.: Радио и связь. 1982